第三章粒子（束）与材料的相互作用。
一、名词术语。
电子的散射角（2）、电子吸收、二次电子、背散射电子、吸收电子、透射电子、二次离子。
二、填空。1、入射电子照射固体时，与固体中粒子的相互作用包括三个过程，即。
答：入射电子的散射，入射电子对固体的激发，受激发粒子在固体中的传播。
2、固体物质对电子的散射有( )散射和( )散射两种。只改变方向而能量不变的散射叫（ ）在改变方向的同时能量也发生变化的散射叫（ ）散射。
答：弹性，非弹性。弹性，非弹性。
3、入射电子轰击固体时，电子激发诱导的x射线辐射主要包括和( )
答：连续x射线，特征x射线，荧光x射线。
4、电子与固体物质相互作用，产生的信息主要有等，据此建立的分析方法（或仪器）主要有等。
答：背散射电子，二次电子，特征x射线，俄歇电子，透射电子，吸收电流，表面元素发射等；透射电子显微镜，扫描电子显微镜，电子探针，俄歇电子能谱，电子背散射电子衍射，低能电子衍射，反射式高能电子衍射等。
三、判断。1、物质的原子序数越高，对电子产生弹性散射的比例就越大。√
2、电子束照射到固体上时，电子束的入射角越大，二次电子的产额越小。
3、入射电子能量增加，二次电子的产额开始增加，达极大值后反而减少。√
4、电子吸收与光子吸收一样，被样品吸收后消失，转变成其它能量。
5、电子与固体作用产生的信息深度次序是：俄歇电子二次电子《背散射电子《吸收电子《特征x射线。√
四、选择。1、电子与固体作用产生多种粒子信号，下列信号对应入射电子是（ ）a
a、透射电子；b、二次电子；c、俄歇电子；d、特征x射线。
2、电子与固体作用产生多种粒子信号，下列信号对应入射电子是（ ）a
a、背散射电子；b、二次电子；c、表面发射元素；d、特征x射线。
3、电子与固体作用产生多种粒子信号，下列信号对应入射电子是（ ）a
a、吸收电子；b、二次电子；c、俄歇电子；d、阴极荧光。
4、电子与固体作用产生多种粒子信号，下列信号中（ ）是由电子激发产生的。d
a、透射电子；b、背散射电子；c、吸收电子；d、特征x射线。
5、电子与固体物质相互作用，当电子把所有动能都转换为x射线时，该x射线的波长称为（ ）a
a、短波限0；b、激发限k；c、吸收限；d、特征x射线。
五、简答题及思考题。
1、电子与固体作用产生多种粒子信号（如下图），哪些对应入射电子？哪些是由电子激发产生的？
答案见作业3-1。
2、电子“吸收”与光子吸收有何不同？
答案见作业3-2。
3、入射x射线比同样能量的入射电子在固体中穿入深度大得多，而俄歇电子与x光电子的逸出深度相当，这是为什么？
答案见作业3-3。
4、配合表面分析方法用离子溅射实行纵深剖析是确定样品表面层成分和化学状态的重要方法。试分析纵深剖析应注意哪些问题。（思考）
5、简述电子与固体作用产生的信号及据此建立的主要分析方法。
答案见作业补充习题1。
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