简答题答案：
1. 请描述此模型模拟的物理过程。
此模型模拟了静电力驱动的多晶硅材料的弹性悬臂梁平行电容板被加上低频电压后，在静电力作用下，悬臂梁弯曲变形以及电场之间的关系。当两极板间存在电势差时，悬臂梁会受到静电力作用而发生形变；而悬臂梁的形变会产生应力，同时使电场发生改变。当加在两极板间的电压一定且小于pull-in voltage时，系统最终会达到平衡，此时静电力等于悬臂梁形变产生的应力。
2. 请解释1d plot group 3，1d plot group 4，1d plot group 5分别描述了什么。
1d plot group 3描述了在不同压力下，悬臂梁在不同位置处的z向形变；1d plot group 4描述了悬臂梁自由端在不同电压下的z向形变；1d plot group 5描述了电压变化时，两极板间电容的变化。
3. 通过此教程，请描述comsol模拟物理场建模的过程。 （提示：
请从以下几个方面描述，1.根据几何尺寸构建物理模型；2.设置边界条件；3.
设置材料参数；4.划分网格5.计算以及结果处理）
1） 建立几何模型。
在model中新建geometry，然后在geometry中建立几何模型；
2） 设置边界条件。
在model的electromechanics输入边界条件，包括对称边界、接地、输入电压等；
3） 设置材料参数。
比如材料的杨氏模量、泊松比、介电常数等；
4） 网格设置。
网格间隙可以根据扫描间隔来设定。
5） 边界驱动条件设置及计算。
在study中设置边界驱动条件，然后开始计算。
6） 结果显示。
设置需要显示的计算结果并画图。
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