第二章《扩散工艺》作业。
℃时在硅片中进行磷的预淀积扩散,直到磷的固溶度极限。扩散时间为20分钟。预淀积后,硅片表面被密封并在1100℃下做推进扩散。
为获得4.0μm的结深,推进时间应为多少?假设衬底浓度为1017cm-3。
推进后表面浓度是多少?(已知1000℃时磷在硅中的固溶度为10cm-3,磷的扩散系数为1.39×10cm/s,1100℃时磷的扩散系数为1.
56×10cm/s)
2、已知某硼扩散工艺中先进行950℃,11分钟预淀积扩散;再进行1180℃,40分钟推进扩散。请问,在该工艺中,对硼起掩蔽作用所需的最小氧化层厚度为多少埃(保留整数)?(已知950℃时硼在sio2中的扩散系数为10cm2/s;1180℃时硼在sio2中的扩散系数为4×10cm/s)
3、某硼预淀积工艺的温度为950℃,衬底磷浓度为2×10cm,要求预淀积后的方块电阻为80/□,请确定预淀积所需时间。(已知扩散层s=660(·cm),硼预淀积时表面浓度为4×1020cm,erfc-1(5×10-6) =2.95,950℃时硼的扩散系数为5×10cm/s)
作业2食品发酵工艺
基本信息 发酵产品的生产是在一种或多种微生物 菌种 按照一定的生化机制,在繁殖 代谢过程中完成的。一般来讲,应用于发酵生产的微生物多是人工选育的生化特性与其野生菌比较发生了改变的菌种,对于生产来讲具有优良性状,以利于实现代谢控制发酵。所谓的代谢控制发酵是指人为地在dna分子水平上改变和控制微生物的代...
制药工艺学作业 2 3
1.药物工艺路线的定义及评价药物合成工艺路线的标准。一个化学药物往往通过多种不同的合成途径制备,将具有工业生产价值的合成途径称为药物工艺路线。a化学合成途径简洁,即原辅材料转化为药物的路线要简洁b所需的原辅材料品种少且易得,并有足够数量的 c中间体容易提纯,质量符合要求 最好是多步反应连续操作d反应...
无机非金属材料工艺 习题作业 2 2习题答案
一 名词解释可塑性 可塑性是指粘土与适量水混练后形成的泥团,在外力作用下,可塑造成各种形状而不开裂,当外力除去以后,仍能保持该形状不变的性能。结合性 它是指粘土能结合非塑性原料形成良好的可塑泥团 有一定的干燥强度的能力离子交换性 粘土粒子由于表面层的断键和晶格内部离子的不等价置换而带电,它能吸附溶液...