微机电机械系统》
学习心得。初学微机电机械系统时，感觉摸不着头绪。面对着众多的术语、概念及原理性的问题不知道该如何下手。
在了解课程的特点后，我发现，微机电机械系统课程有许多新名词、新专业术语，透彻理解这些名词、术语的意思，才能为今后深入学习打下基础。微机电系统是一种先进的制造技术平台。它是以半导体制造技术为基础发展起来的。
mems技术采用了半导体技术中的光刻、腐蚀、薄膜等一系列的现有技术和材料，因此从制造技术本身来讲，mems中基本的制造技术是成熟的。但mems更侧重于超精密机械加工，并要涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面也扩大到微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理学的各分支。
微机电系统是微电路和微机械按功能要求在芯片上的集成，尺寸通常在毫米或微米级，自八十年代中后期崛起以来发展极其迅速，被认为是继微电子之后又一个对国民经济和军事具有重大影响的技术领域，将成为21世纪新的国民经济增长点和提高军事能力的重要技术途径。微机电系统的优点是：体积小、重量轻、功耗低、耐用性好、**低廉等优点。
、性能稳定等。微机电系统的出现和发展是科学创新思维的结果，使微观尺度制造技术的演进与革命。微机电系统是当前交叉学科的重要研究领域，涉及电子工程、材料工程、机械工程、信息工程等多项科学技术工程，将是未来国民经济和军事科研领域的新增长点。
微机电系统最初大量用于汽车安全气囊，而后以mems传感器的形式被大量应用在汽车的各个领域，随着mems技术的进一步发展，以及应用终端“轻、薄、短、小”的特点，对小体积高性能的mems产品需求增势迅猛，消费电子、医疗等领域也大量出现了mems产品的身影。
mems的特点是：
1）微型化：mems器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。微机电系统微机电系统。
2）以硅为主要材料，机械电器性能优良：硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度类似铝，热传导率接近钼和钨。
3）批量生产：用硅微加工工艺在一片硅片上可同时制造成百上千个微型机电装臵或完。
整的mems。批量生产可大大降低生产成本。
4）集成化：可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体，或形成微传感器阵列、微执行器阵列，甚至把多种功能的器件集成在一起，形成复杂的微系统。微传感器、微执行器和微电子器件的集成可制造出可靠性、稳定性很高的mems。
5）多学科交叉：mems涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科，并集约了当今科学技术发展的许多尖端成果。
mems发展的目标在于，通过微型化、集成化来探索新原理、新功能的元件和系统，开辟一个新技术领域和产业。mems可以完成大尺寸机电系统所不能完成的任务，也可嵌入大尺寸系统中，把自动化、智能化和可靠性水平提高到一个新的水平。21世纪mems将逐步从实验室走向实用化，对工农业、信息、环境、生物工程、医疗、空间技术、国防和科学发展产生重大影响。
微机电系统基本上是指尺寸在几厘米以下乃至更小的小型装臵，是一个独立的智能系统，主要由传感顺、作动器（执行器）和微能源三大部分组成。微机电系统涉及物理学、化学、光学、医学、电子工程、材料工程、机械工程、信息工程及生物工程等多种学科和工程技术，为系统生物技术的合成生物学与微流控技术等领域开拓了广阔的用途。微机电系统在国民经济和军事系统方面将有着广泛的应用前景。
主要民用领域是医学、电子和航空航天系统。美国已研制成功用于汽车防撞和节油的微机电系统加速度表和传感器，可提高汽车的安全性，节油10%。仅此一项美国国防部系统每年就可节约几十亿美元的汽油费。
微机电系统在航空航天系统的应用可大大节省费用，提高系统的灵活性，并将导致航空航天系统的变革。例如，一种微型惯性测量装臵的样机，尺度为2厘米×2厘米×0.5厘米，重5克。
在军事应用方面，美国国防部高级研究计划局正在进行把微机电系统应用于个人导航用的小型惯性测量装臵、大容量数据存储器件、小型分析仪器、医用传感器、光纤网络开关、环境与安全监测用的分布式无人值守传感等方面的研究。该局已演示以微机电系统为基础制造的加速度表，它能承受火炮发射时产生的近10.5个重力加速度的冲击力，可以为非制导弹药提供一种经济的制导系统。
设想中的微机电系统的军事应用还有：化学战剂报警器、敌我识别装臵、灵巧蒙皮、分布式战场传感器网络等。
微机电学习心得体会
微机电机械系统 学习心得。初学微机电机械系统时，感觉摸不着头绪。面对着众多的术语 概念及原理性的问题不知道该如何下手。在了解课程的特点后，我发现，微机电机械系统课程有许多新名词 新专业术语，透彻理解这些名词 术语的意思，才能为今后深入学习打下基础。微机电系统是一种先进的制造技术平台。它是以半导体制造...
微机电系统心得体会
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